来源:深圳市光明区鑫诚物资回收经营部 时间:2024-12-24 03:50:00 [举报]
在连续的板子蚀刻中,蚀刻速率越一致,越能获得均匀蚀刻的板子。要达到这一要求,蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在佳的蚀刻状态。这就要求选择容易再生和补偿,蚀刻速率容易控制的蚀刻液。选用能提供恒定的操作条件和对各种溶液参数能自动控制的工艺和设备。通过控制溶铜量,PH值,溶液的浓度,温度,溶液流量的均匀性(喷淋系统或喷嘴以及喷嘴的摆动)等来实现。
蚀刻网是通过对金属板材进行蚀刻加工,形成的镂空网。传统的蚀刻加工方法采用的是腐蚀性液体或采用激光雕刻的手段。加工而成的蚀刻网常用于集成电路印刷、荧光屏电子格栅,过滤,微电极元件等。
蚀刻技术其特征在于:
1.)蚀刻速率(安培/分钟)
2.)选择性:S=蚀刻速率材料1/蚀刻速率据说材料2对材料1比对材料2具有S的选择性。
3.)各向异性:A=1-横向蚀刻速率/垂直蚀刻速率
4.)欠切:如果0.8 um的线是由使用1 um的光致抗蚀剂线作为掩模的蚀刻产生的,那么对于该特定的蚀刻,据说工艺偏差是0.1um。
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