来源:深圳市光明区鑫诚物资回收经营部 时间:2025-03-08 03:45:59 [举报]
早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。
蚀刻技术其特征在于:
1.)蚀刻速率(安培/分钟)
2.)选择性:S=蚀刻速率材料1/蚀刻速率据说材料2对材料1比对材料2具有S的选择性。
3.)各向异性:A=1-横向蚀刻速率/垂直蚀刻速率
4.)欠切:如果0.8 um的线是由使用1 um的光致抗蚀剂线作为掩模的蚀刻产生的,那么对于该特定的蚀刻,据说工艺偏差是0.1um。
在纯蚀刻中,金属(通常是铜、锌或钢)板上覆盖着一层耐酸的蜡状底层。然后,艺术家用一根尖锐的蚀刻针在地面上刮掉他/她希望成品中出现的线条,从而露出裸露的金属。然后将盘子浸入酸浴中。酸“侵蚀”暴露在外的金属,留下沉入金属板的线条。然后将剩余的地面从盘子上清理掉。印版上涂满墨水,然后擦去表面的墨水,只留下蚀刻线条上的墨水。
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