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在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜功用的一个重要因素。因此，当点评某薄膜样品的功用时，需求检测该薄膜样品不同厚度下的功用。对于真空镀膜的情形，这往往需求进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题：，不同次生长的样品，仪器的状况不同，以至于影响薄膜样品功用的因素可能不仅仅是厚度;其次，真空镀膜试验装取样品需求重新进行真空的获得，十分耗时。增加了出产和检测的本钱。
众所周知，真空镀膜机的运行状态将直接影响镀膜产品的质量。为了更好地运行，有必要对真空镀膜机进行维护。那么，你知道真空镀膜机维护的意义吗? 设备的日常维护就是发现生产中的异常现象，尽早解决。如果发现机械泵的油量减少，应该添加。不要认为应该定期换油。否则，在进行维护时，泵的转子可能会严重磨损。比如有些轴承工件被夹住，就要更换轴承;否则坏了，问题就严重了，可能会出现电机烧毁等问题。
定期保养，有人会问常规保养和定期保养的区别?事实上，每个设备都有使用寿命。例如，用于扩散泵的硅油具有大约两年的使用寿命。我们早点换掉它。这是浪费吗?不，在生产中，设备故障是不可能发生的事情。做好日常维护和定期保养，不仅可以延长设备的使用寿命，还可以减少运行故障，提高生产效率。
真空镀膜机应在真空过程前对真空材料进行清洗，去除工件或系统材料表面的污染物;车灯镀膜机零部件表面的清洁也是很有必要的，因为污染物引起的气体和蒸气源不仅会使真空系统无法获得所需的真空度。而且由于污染物的存在，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
暴露在空气中的真空镀膜机表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附现象、化学反应、浸出干燥过程、机械处理、扩散和偏析过程都增加了各种组分的表面污染物。真空材料表面的常见污染物如下。
①油脂:润滑剂、切削液、真空油脂等。在加工、组装和操作过程中被污染;
②水基类:操作时的手汗、吹气时的水蒸气、唾液等。
③表面氧化物:材料长时间放置在空气中或潮湿空气中形成的表面氧化物;
④酸、碱、盐类物质:清洗时的残留物质、手汗、水中的矿物质等。
⑤环境空气中的抛光残渣、灰尘和其他有机物等。
前期清洗真空镀膜机可以减少很多麻烦，避免溅射镀膜机的很多小问题，对真空镀膜机的工作效率和镀膜质量有非常积极的作用。它可以大大提高真空系统中所有壁面和其他部件表面在各种工况下的工作稳定性。这些工作条件包括:高温、低温以及电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击。
