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溅射镀膜又分为很多种，总体看，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。
定期保养，有人会问常规保养和定期保养的区别?事实上，每个设备都有使用寿命。例如，用于扩散泵的硅油具有大约两年的使用寿命。我们早点换掉它。这是浪费吗?不，在生产中，设备故障是不可能发生的事情。做好日常维护和定期保养，不仅可以延长设备的使用寿命，还可以减少运行故障，提高生产效率。
工件常用的除气方法是烘烤。工件中的气体和水分通过加热排出。涂装前，工件边抽边加热。当工件中的水分和气体因受热而释放出来时，它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不同的脱气措施，可以有效控制工件内部气体和水的排放，提高涂层的稳定性和均匀性。
