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化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
真空镀膜中常用的塑料，ABS是早运用的，是一起满意三个条件的塑料，A代表丙烯腈，B代表丁二烯，S代表苯乙烯，塑料中含有以上三种物质的便是ABS塑料了，ABS镀上膜层后，能够很好的发挥其机械功能、抗冲击性，依靠其硬度大，耐磨损，本钱不高，常常被用于替代某些金属机械零部件，也用于出产家用电器的外壳，但由于含有丁二烯，ABS不能在室外运用，否则会变色。
塑胶具有易成型，价格便宜，质量轻，防腐蚀等长处，但塑胶的缺陷也比较，其缺陷也制约了塑胶的应用规模，如不美观、易老化、机械功能差、易碎易变型、耐热差等。经过真空镀膜机的应用，使塑胶外表镀上特定膜层，东莞汇成真空自主研制出产的蒸发真空镀膜设备将镀膜机资料和塑胶产吕结合，大大提高了塑胶制品的物理、化学功能。
暴露在空气中的真空镀膜机表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附现象、化学反应、浸出干燥过程、机械处理、扩散和偏析过程都增加了各种组分的表面污染物。真空材料表面的常见污染物如下。
①油脂:润滑剂、切削液、真空油脂等。在加工、组装和操作过程中被污染;
②水基类:操作时的手汗、吹气时的水蒸气、唾液等。
③表面氧化物:材料长时间放置在空气中或潮湿空气中形成的表面氧化物;
④酸、碱、盐类物质:清洗时的残留物质、手汗、水中的矿物质等。
⑤环境空气中的抛光残渣、灰尘和其他有机物等。
前期清洗真空镀膜机可以减少很多麻烦，避免溅射镀膜机的很多小问题，对真空镀膜机的工作效率和镀膜质量有非常积极的作用。它可以大大提高真空系统中所有壁面和其他部件表面在各种工况下的工作稳定性。这些工作条件包括:高温、低温以及电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击。
真空是支撑真空镀膜机运行的环境，尤其是需要高真空度的设备。通常，我们需要达到高的真空度，而抽气系统的功能是不可缺少的。但是除了抽气系统之外，真空镀膜设备的操作还有一点，就是工件的脱气。有些工件内部有大量气体和水分，在设备加热时会排入真空室，降低真空度。更有甚者，有些气体含有有毒成分，直接破坏真空室内部机械结构，导致设备无法正常运行。
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