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FFU风机过滤单元
FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为“风机滤器单元（机组）”，也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、过滤器过滤，它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供的洁净空气。各净化工程企业的FFU执行标准略有不同，业内通行的指标为：过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出，但稳定性差距很大
洁净区内的配电箱(柜)根据要求不同，可采用明装或暗装方式安装。其暗装结构形式类似于通风柱井或结构包柱。
进出线选用：
配电箱的进出线选用低压电缆，电缆的选择应符合技术要求。例如30kVA、50kVA变压器的配电箱的进线使用VV22-35×4电缆，分路出线使用同规格的VLV22-35×4电缆；80kVA、100kVA变压器的配电箱的进线分别使用VV22-50×4、VV22-70×4电缆，分路出线分别使用VLV22-50×4、VLV22-70×4电缆,其电缆与铜铝接线鼻压接后再用螺栓与配电箱内接线桩头连接。对于配电变压器容量在100kV·A及以上的配电箱体。
清洁要求
（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；
（2）用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂；
（3）使用已获批准的洁净室去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用拖把。
（7）在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的真空吸尘器。
（8）所有的门都需要检查并擦干
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（10）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（11）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。
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