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蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 

对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。 

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。

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抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，查找真空泵及阀门看哪里出现泄漏，或是扩散泵油污染或氧化；或前级管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化，轴封漏油等。漏--分内漏和外漏，较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。查找小漏和微漏：利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了--也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。好是反复几次，确认漏点。内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。

1．在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时，先开水管，工作中应随时注意水压。
2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。
3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。
4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。
5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。
6．酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮手套。
7．把零件放入酸洗或碱洗槽中时，应轻拿轻放，不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。
8．工作完毕应断电、断水。

真空镀膜加工中冷却设备需要提供智能、稳定的冷冻水，来确保真空镀膜工艺中电镀液的温度恒定，所以会选择使用水冷式冷水机来作为真空镀膜加工冷却设备。

一 真空镀膜加工中冷却设备冷水机的作用

真空镀膜加工过程中，真空镀膜机作为主要设备，工作过程中有高频电流过程，电导会在反复过程中产生大量热能并且集聚在一起，需要冷却设备及时地进行冷却，避免设备部件损坏，影响使用寿命；另外，真空镀膜电镀液需要根据电镀产品不同进行温度调节，并保持相对恒温，反复镀膜会造成镀液温度升高，同样需要冷却设备来准确地控制和稳定电镀液的温度。在工业生产控温中，根据真空镀膜加工的实际需求，选用相应规格的冷水机设备来进行、稳定的温度控制调节是经济有效的解决方案。

真空蒸镀金属薄膜怎么样？这个问题不能一概而论，要根据您的具体情况进行分析。这里简单介绍一下真空蒸镀金属薄膜的特点，供您参考。镀铝薄膜与铝箔复合材料相比具有以下特点：（1）大大减少了用铝量，节省了能源和材料，降低了成本，复合用铝箔厚度多为7～9pm，而镀铝薄膜的铝层厚度约为0．05n左右，其耗铝量约为铝箔的1/140～1/180，且生产速度可高达450m/min。（2）具有优良的耐折性和良好的韧性，很少出现针孔和裂口，无揉曲龟裂现象，因此对气体、水蒸汽、气味、光线等的阻隔性提高。（3）具有的金属光泽，光反射率达到97%；且可以通过涂料

利摘要显示，本申请关于一种真空镀膜自动加料装置，涉及真空镀膜领域。该真空镀膜自动加料装置包括支架，支架上安装有滑动机构，滑动机构上安装有驱动机构以及加料机构，驱动机构的动力输出端与加料机构传动连接；加料机构的上方还安装有储料罐，储料罐将粉料输送至加料机构内，加料机构与外部管式炉的进料口接驳；其中，储料罐上还安装有搅拌机构，搅拌机构将储料罐内的粉料均匀的输送至加料机构内。实现了在CVD过程中，粉末状态的蒸发材料（如派瑞林）少量、连续进入管式炉以进行后续的加热、升华、裂解工艺，既满足了蒸发材料的用量，又达到了实时动态调整进料量的目的，提升了镀膜效果，并实现了一种以上的蒸发材料复合镀膜的工艺需求。